紧凑型压电驱动微探针系统借助于压电驱动定位器确定探针位置，为稳定性和高分辨率要求的样品提供了完美的电学表征解决方案，基于带有线性滚珠轴承的超紧凑压电驱动定位器，非常适用于微型定位需求。可广泛应用在纳米表面分析、材料科学、半导体等领域。

紧凑型压电驱动微探针系统采用4个超小尺寸压电驱动移动探针，能够以微米级的分辨率独立定位电子探头，多功能，便携，该解决方案的组件旨在最大限度地减少其在实验装置上的占地面积，并在直立和倒置光学显微镜，真空腔体，探针台，AFM，光学面板等无缝安装。通过软件应用程序的控制板直观地进行参数化和移动，从而进行实验微米级移动，降低了损坏敏感样品的风险。

典型参数：

移动速度：15毫米/秒
行程（X、Y轴）： 8毫米
行程(Z轴)：3毫米
压力：250gf ~ 300gf
移动范围：20 x 20 x 30mm
移动精度：< 1um (取决于温度和真空度) 精密真空压力控制系统

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