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MEMS器件微探针系统
LCC芯片微探针系统
压电驱动微探针系统
许多应用需要在进行显微镜或光谱观察的同时测量电学参数。在NEXTRON,多年来我们一直在为微电子和半导体领域创建样品表征解决方案。我们设计和制造的样品表征室具有精确的温度控制,范围从<-195℃到1000℃。样品室的环境可以被控制,可以选择气体吹扫、控制真空或湿度。NEXTRON微探针系统可以安装电气连接或金尖钨针探针,以便测量样品的电气特性及其随温度的变化。NEXTRON微探针系统与光镜和光谱技术兼容,包括拉曼、FT-IR和X射线。
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