压电微探针系统借助于压电驱动定位器确定探针位置，为稳定性和高分辨率要求的样品提供了完美的电学表征解决方案，高真空气密样品腔室,可充入保护性气体，独立温度控制。

型号：PMPS-PT4C/PMSP-PTH4C/PMPS-CHL4C/PMPS-CHH4C/PMPS-CHU4C/PMPS-LN4C/PMPS-VAC4C/PMPS-VAH4C

温度范围：77K-RT / -40℃ – 200℃ / RT-450℃ / RT-750℃

温度稳定性和精度：0.1°C

样品台尺寸：可根据样品尺寸定制

探针： 4个

探针类型：铬镍合金/钨/铑/镀金

探针接口：标准同轴或三轴接口

探针移动精度：<1um（与温度、真空度有关）

压力：1N（100g）

最大移动速度：15mm/s

X/Y移动行程：8mm

Z轴移动行程：33mm

腔体尺寸：70*140*31.5mm

腔体重量：650-950g

腔体体积：100 CC

极限真空度：10^-3mbar（机械泵）/ 10^-6mbar（分子泵）