精密压力控制系统
压力控制范围

范围-选择

- 选项1：0.001 ~ 1 Torr
- 选项2 : 1 ~ 1000 Torr
- 选项3 : 0.001 ~ 1000 Torr

精密真空压力控制系统可以通过调整流量来控制所需气体的部分压力。
软件可以自动获取并维护它作为一个方法。