Application Case客户案例
MEMS器件微探针系统
LCC芯片微探针系统
压电驱动微探针系统
- XRD室:NEXTRON XRD原位微探针系统- 样品: SrFe0.8Co0.2O2.5 on 001 SrTiO3- 光束线:浦项加速器实验室3D光束线- 测量:在依次供应N2(2.5小时)、O2(6小时)和N2(2.5小时)的情况下进行实时XRD和电阻测量。流速为20 sccm。- 结果:SrFe0.8Co0.2O2.5薄膜的晶格常数依次转移到3.99埃(N2)、3.90埃(O2)和4.00埃(N2)。由于拓扑结构的转变,观察到了相关的电阻变化。