压电式MEMS超声换能器赋能心脏健康监测
近日,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室MEMS课题组的研究人员在IEEESensorsJournal期刊上发表了题为“MEMSultrasonicfingertipheartratesensor”的论文。研究团队提出了基于压电式MEMS超声换能器(PMUT)芯片的心率监测方案,详细介绍了PMUT芯片设计、制造、表征与心率测试结果。PMUT芯片具有的小尺寸、高集成度和兼容不透光封装材料的众多...
日期:2022-12-11 阅读:(292)查看详情>>