LCC芯片微探针系统主要用于无引脚芯片载体和塑料引脚芯片载体的电学及光学性能表征，具备变温、真空等测试功能，高真空气密样品腔室,可充入保护性气体，独立温度控制。

型号：LCCMPS-PT28(48)/LCCMPS-PTH28(48)/LCCMPS-LN28(48)/LCCMPS-VAC28(48)/LCCMPS-VAH28(48)

温度范围：-40-150℃（帕尔贴变温）/ 80K-RT（液氮变温）

温度稳定性和精度：0.1°C

样品台尺寸：可根据芯片尺寸定制

引脚数量：24/48pin，其他可定制

腔体尺寸：70*140*31.5mm

腔体重量：650-950g

腔体体积：100 CC

极限真空度：10^-3mbar（机械泵）/ 10^-6mbar（分子泵）