MEMS器件微探针系统主要用于MEMS器件在变温、真空、气氛等测试环境下的电学及光学性能表征，独特设计确保在低温下，腔体不产生结霜影响实验，又可以防止样品发生氧化。

温度范围： 80K-RT / -40℃ – 200℃ / RT-450℃ /RT-750℃

温度稳定性和精度：0.1°C

样品台尺寸：可根据MEMS尺寸定制

探针：标配8个,其他可定制

探针类型：铬镍合金/钨/铑/镀金

探针接口：标准同轴或三轴接口

探针移动方式：手动移动，可选压电驱动

腔体尺寸：70*140*31.5mm

腔体重量：650-950g

腔体体积：100 CC

极限真空度：10^-3mbar（机械泵）/ 10^-6mbar（分子泵）