接线端微探针系统主要用于电气连接元器件的在变温、真空等测试环境下的电学及光学性能表征。

温度范围：80K-RT / -40℃ – 200℃ / RT-450℃ /RT-750℃

温度稳定性和精度0.1°C

样品台尺寸：可根据样品尺寸定制

探针：0-6个

探针类型：铬镍合金/钨/铑/镀金

探针接口：标准同轴或三轴接口

探针移动方式：手动移动，可选压电驱动探针

X/Y轴移动行程：12mm，Z轴移动行程：2mm

针脚数量：9个/24个，其他可定制

腔体尺寸：70*140*31.5mm

腔体重量：650-950g

腔体体积：100 CC

极限真空度：10^-3mbar（机械泵）/ 10^-6mbar（分子泵）