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MEMS器件微探针系统
LCC芯片微探针系统
压电驱动微探针系统
型号:MPS-LN/MPS-LN6C/MPS-LN8C
温度范围:80K -RT
样品台尺寸:15mm
探针数量:4个,28/48pin无引脚芯片载体
测试环境:气氛、真空、湿度、光照
探针移动方式:手动/压电驱动