型号：MPS-CHL/MPS-CHH/MPS-CHU

温度范围：RT-450℃/750℃/1000℃

样品台尺寸：1/2inch

探针数量：4/6/8/13个可选，9pin/24pin接线端子

测试环境：气氛、真空、湿度、光照

         探针移动方式：手动/压电驱动