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MEMS器件微探针系统
LCC芯片微探针系统
压电驱动微探针系统
型号:MPS-PT/MPS-PTH/MPS-PT6C/MPS-PTH6C/MPS-PT8C/MPS-PTH8C/MPS-PT28/MPS-PTH28
温度范围:-40℃ – 200℃
加热方式:帕尔贴变温
样品台尺寸:19 X 19mm
探针数量:4/6/8个可选,28/48pin无引脚芯片载体
测试环境:气氛、真空、湿度、光照
探针移动方式:手动/压电驱动